Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Micro Gas Sensor의 Membrane용 $SiN_x$막과 $SiN_x/SiO_x/SiN_x$막의 응력과 굴절율

  • 이재석 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박준식 (전자부품종합기술연구소) ;
  • 박효덕 (전자부품종합기술연구소) ;
  • 신상모 (전자부품종합기술연구소) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과)
  • Published : 1996.11.01
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