Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

UHV-ECRCVD에 의한 Si과 SiGe 에피막의 전기적 특성

  • 황석희 (서울대학교 전기공학부, 반도체공동연구소) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부, 반도체공동연구소) ;
  • 황기웅 (서울대학교 전기공학부, 반도체공동연구소)
  • Published : 1996.06.01
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Abstract

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