Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

산소 분위기 산화에서의 SiGe 에피막의 특성

  • 안창근 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 강희성 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 정욱진 (포항공과대학교 전자전 기공학과) ;
  • 홍제화 (포항공과대학교 전자전기공학과) ;
  • 권영규 (포항공과대학교 전자 전기공학과) ;
  • 강봉구 (포항공과대학교 전자전기공학과)
  • Published : 1996.06.01
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Abstract

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