안테나를 사용한 RF Plasma의 진단 및 응용

• 김건우 (한양대학교 물리학과) ;
• 안영준 (한양대학교 물리학과) ;
• 최석호 (한양대학교 기계공학과) ;
• 이정혜 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
• 윤정현 (한양대학교 기계공학과) ;
• 김곤호 (한양대학교 물리학과) ;
• 이연희 (한양대학교 기계공학과) ;
• 한승희 (한양대학교 기계 공학과)

• 발행 : 1996.06.01

• PDF