자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구

• 남욱준 (성균관대학교) ;
• 이용혁 (성균관대학교) ;
• 강민구 (연세대학교) ;
• 박형호 (연세대학교) ;
• 윤종구 (국립기술품질원) ;
• 김정훈 (서울대학교) ;
• 황기웅 (서울대학교) ;
• 염근영 (성균관대학교)

• Published : 1996.06.01

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