Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1996.06a
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- Pages.140-140
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- 1996
Structure and ppropperties of ($Ti_1-_xA_lx$ )N thin films depposited by reactive spputtering
반응성 스퍼터링으로 증착한 ($Ti_1-_xA_lx$ )N 박막의 특성 연구
Abstract
Keywords