Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

LPMOCVD법에 의한 Platinum 박막의 증착

  • 이종명 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 황철성 (삼성전자 반도체연구소 공정개발2팀) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공)
  • Published : 1996.06.01
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