Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Growth characteristics of epitaxial GaN using precracked NH3

  • 이철로 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터부, 박막연구그룹) ;
  • 이인환 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 손성진 (광전자반도체(주)) ;
  • 노삼규 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터부, 박막연구그룹)
  • Published : 1996.06.01
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Abstract

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