Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Fabrication of III-V MBE System and Growth of High-quality Epitaxial GaN Films

GaN 전용 III-V MBE 장비의 제작 및 고품위 에피택셜 GaN 박막 성장

  • 유명철 (삼성종합기술원 신소재응용연구소 광반도체연구실) ;
  • 박명원 (삼성종합기술원 신소재응용연구소 광반도체연구실)
  • Published : 1996.06.01
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