한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

강유전체 메모리의 PZT와 Pt 식각특성

Etching Properties of PZT and Pt in Ferroelectric Memory

  • 주석호 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초연구팀) ;
  • 문종 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초연구팀) ;
  • 심태언 (삼성전자(주) 반도체 연구소 기초연구팀)
  • 발행 : 1996.02.01
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