Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향

  • 김경열 (서울대학교 공업화학과, 표면 및 박막 실험실) ;
  • 황의성 (서울대학교 공업화학과, 표면 및 박막 실험실) ;
  • 이지화 (서울대학교 공업화학과, 표면 및 박막 실험실)
  • 발행 : 1996.02.01