이온 보조 증착에서 산소 이온 빔 에너지가 주석 산화물 박막형성에 주는 영향 연구

• 송석균 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 고석근 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 백홍구 (연세대학교 금속공학과)

• 발행 : 1996.02.01

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