한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

TDEAT 단일증착원과 TDEAT/NH3 혼합증착원으로 증착한 TiN 박막의 특성 비교

  • 김지용 (국민대학교 금속재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 김재호 (국민대학교 금속재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과 반도체 공정연구실)
  • 발행 : 1996.02.01
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