한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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- Pages.23-25
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- 1996
GaAs 표면에 미치는 wet cleaning 효과에 관한 연구
Bonding characteristics of GaAs surface after wet cleaning
- 서경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 강민구 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
- 박병호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
- 이종람 (포항공대 재료공학과) ;
- 이재진 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
- Seo, Gyeong-Su (Electronics and Telecommunications Research Institute) ;
- Gang, Min-Gu (Yeonsei University) ;
- Park, Byeong-Ho (Yeonsei University) ;
- Lee, Jong-Ram (Pohang University) ;
- Lee, Jae-Jin (Electronics and Telecommunications Research Institute)
- 발행 : 1996.02.01