Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Simulation study of $CrF_x$ Attenuated phase-Shifting mask

$CrF_x$ 변조 위상 변위마스크의 모사 연구

  • 김은아 (한국과학 기술원 재료공학과) ;
  • 홍승범 (한국과학 기술원 재료공학과) ;
  • 장종도 (한국과학 기술원 재료공학과) ;
  • 배병수 (한국과학 기술원 재료공학과) ;
  • 노광수 (한국과학 기술원 재료공학과) ;
  • 임성출 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 우상균 (삼성전자 반도체 연구소) ;
  • 고영범 (삼 성전자 반도체 연구소)
  • Published : 1996.09.01
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Abstract

Keywords