Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Characteristics of long life operation by kHz level excimer laser

kHz 급 엑시머레이저의 장수명동작 특성

  • 박홍진 (경희대학교 전자공학과, 레이저 공학 연구소) ;
  • 이주희 (경희대학교 전자공학과, 레이저 공학 연구소)
  • Published : 1996.09.01
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