한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

ArF Excimer Laser 리소그래피용 광학계 설계 및 Tolerancing

Design and Tolerancing of ArF Excimer Laser optics for lithography

  • 이각현 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단) ;
  • 김도훈 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단) ;
  • 정해빈 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단) ;
  • 유형준 (한국전자통신 연구소 반도체 연구단)
  • 발행 : 1996.09.01
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