대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1648-1650
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- 1996
스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술
Fabrication of Copper Films by RF Magnetron Sputtering
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Kim, Hyun-Sik
(Dept. of Inorgnic Materials Eng., Kyungnam Univ.) ;
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Song, Jae-Sung
(KERI) ;
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Jeong, Soon-Jong
(KERI) ;
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Oh, Young-Woo
(Dept. of Inorgnic Materials Eng., Kyungnam Univ.)
- 발행 : 1996.07.22
초록
In present paper, Cu films
키워드