한국전자현미경학회:학술대회논문집
- 한국현미경학회 1995년도 제26차 추계학술대회
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- Pages.27-28
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- 1995
강유전체 박막의 하부전극용 Pt/Ti bilayer의 열처리에 따른 미세구조 분석
Microstructure Characterization of Pt/Ti Bilayer for Bottom Electrode of Ferroelectric Thin Films with Thermal Treatment Conditions
- 발행 : 1995.12.01