한국전자현미경학회:학술대회논문집

한국현미경학회 (Korean Society of Microscopy)

권호 표지

강유전체 박막의 하부전극용 Pt/Ti bilayer의 열처리에 따른 미세구조 분석

Microstructure Characterization of Pt/Ti Bilayer for Bottom Electrode of Ferroelectric Thin Films with Thermal Treatment Conditions

이태곤 (한양대학교 재료공학과) ;
김영호 (한양대학교 재료공학과) ;
최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) ;
권오경 (한양대학교 전자공학과)

발행 : 1995.12.01

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