한국전자현미경학회:학술대회논문집

1995.12a
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Pages.17-19
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1995

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)

권호 표지

Structural analysis of carbon layer formed during bias treatment on silicon

실리콘 바이어스 전처리시 형성되는 탄소층의 구조 분석

Kang, Dae-Hwan (Dept. of Metall. Eng., Seoul National University) ;
Kim, Ki-Bum (Dept. of Metall. Eng., Seoul National University) ;
Lee, Hwack-Joo (Korea Research Institute of Standards and Science)

강대환 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
김기범 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
이확주 (한국표준과학연구원)

Published : 1995.12.01

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Abstract

Keywords