Transmission Electron Microscopy Study on the Formation of Shallow $P^+$ -N Junctions by Dual $SiF_4^+/BF_2^+$ Implantation
$SiF_4^+/BF_2^+$ 이중 이온주입법을 이용한 천이 $P^+$ -N junction 형성에 관한 투과전자현미경 연구
- Published : 1995.06.01
Abstract
Keywords