고주파 마그네트론 스파터링법에 의해 제조된 이트리아 안정화 지르코니아 박막의 결정학적 및 광학적 특성

Crystallographic and Optical Properties of Yttria Stabilized Zirconia Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

  • 발행 : 1995.11.01