한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

ECR-PEMOCVD법을 이용한 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ 박막의 제조 및 특성평가

Preparation and Characterization of $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ thin films Using ECR-FEMOCVD

  • 이준성 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 송한욱 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 전병혁 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 곽동화 (한국과학기술원 전기및전자공학과) ;
  • 유병곤 (한국전자통신연구소)
  • 발행 : 1995.11.01
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