Effect of Deposition Conditions for the Orientation of $SrTiO_3$ Thin Films Prepared by MOCVD Using Ultrasonic Spraying

초음파분무 MOCVD에 의해 제조된 $SrTiO_3$ 박막의 증착조건에 따른 배향성 변화

  • 박정훈 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김인태 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 박순자 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1995.11.01