Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

ECR PECVD법을 이용한 PLZT박막 제조

  • 신중식 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords