한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

구리확산방지막으로서 Molybdenum Nitride 박막의 열적안정성 연구

Thermal Stability of Molybdenum Nitride Thin Film as a Copper Diffusion Barrier

  • 이정엽 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 이재석 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 오경희 (국립공업기술원 종합분석부)
  • 발행 : 1995.11.01
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