실리콘 식각 및 열처리에 따른 오염과 격자결함 변화에 대한 연구

• 원대희 (성균관대학교) ;
• 이주욱 (한국과학기술원) ;
• 권광호 (한국전자통신연구소) ;
• 이원석 (성균관대학교) ;
• 이정용 (한국과학기술원) ;
• 염근영 (성균관대학교)

• 발행 : 1995.02.01

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