전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 $CF_4$ 방전사 Apearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린원자의 거동에 관한 연구

• 도현호 (서울대학교 공과대학 전기공학과) ;
• 김정훈 (서울대학교 공과대학 전기공학과) ;
• 이석현 (인하대학교 공과대학 전 기공학과) ;
• 황기웅 (서울대학교 반도체 공동연구소)

• Published : 1995.06.01

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