Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Cathodic Arc Plasma Deposition법을 이용한 $(Ti_{1-x}Al_x)N$박막합성 및 고온내마모특성 에 관한 연구

  • 윤주선 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 김형준 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 송건 (수원전문대학교 금형설계과)
  • Published : 1995.06.01
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