질소분위기하에서 keV $Ar^+$ion조사에 의한 질화규소$(Si_3N_4)$의 표면개질

• 감직상 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
• 한경섭 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
• 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
• 고석근 (한국과학기 술연구원 세라믹스연구부)

• Published : 1995.06.01

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