Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

ICBD방법에 있어서 가속전압이 Cu박막의 확산거동에 미치는 영향

  • 김기환 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤영수 (한국과학기술연구원 세라믹수연구부)
  • Published : 1995.06.01
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