Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$박막에 Dopant d에 의한 가연성 가스의 감응성 특성 연구

  • 송석균 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원 세레라믹스부) ;
  • 백흥구 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 최동수 (한국가스공사연구개발원) ;
  • 전진석 (한국가스공사연구개발원)
  • Published : 1995.06.01