Trench Isolation 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거 기술 연구

• Won, Dae-Hui (Sungkyunkwan University) ;
• Kim, Ji-Hyeong (Sungkyunkwan University) ;
• Jo, Yeong-A (Sungkyunkwan University) ;
• Lee, Ju-Uk (Korea Advanced Institute of Science and Technology) ;
• Lee, Jeong-Yong (Korea Advanced Institute of Science and Technology)

• 원대희 (성균관대학교) ;
• 김지형 (성균관대학교) ;
• 조영아 (성균관대학교) ;
• 이주욱 (한국과학기술원) ;
• 이정용 (한국과학기술원)

• Published : 1995.06.01

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