Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1995.06a
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- Pages.43-44
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- 1995
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO/$SiO_2$ /Si박막의 증착 및 특성조사
- Park, Hui-Dae ;
- Han, Bong-Myeong ;
- Lee, Chung-Seop ;
- Han, Bong-Myeong ;
- Kim, Jong-Won ;
- Hyeon, Seok-Bong ;
- Choe, Byeong-Wan ;
- Kim, Su-Yong
- 박희대 (부산수산대학교 물리학과) ;
- 김경식 (부산수산대학교 물리학과) ;
- 이충섭 (부산수산대학교 물리학과) ;
- 한봉명 (한국과학기술원 물리학과 센서공학연구실) ;
- 김종완 (한국과학기술원 물리학과 센서공학연구실) ;
- 현석봉 (한국과학기술원 물리학과 센서공학연구실) ;
- 최병운 (한국과학기술원 물리학과 센서공학연구실) ;
- 김수용 (한국과학기술원 물리학과 센서공학연구실)
- Published : 1995.06.01
Abstract
Keywords