저압 MOCVD법으로 n형 GaAs 및 Inpp 위에 성장시킨 $TiO_2$ 유전체박막의 전기적 특성

  • 손맹호 (한국과학기술연구원 반도체재료연구센타, 서울 130-650) ;
  • 김은규 (한국과학기술연구원 정보전자연구부, 염상섭)
  • Published : 1995.06.01