스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 미세구조 및 우선 배향성 변화

  • 이용의 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이재빈 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김영진 (경기대학교 재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1995.06.01