Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

XPS study of $RuO_2$ films deposited by reactive sputtering

  • 김태형 (금성중앙연구소 분석실) ;
  • 이종완 (금성중앙연구소 분석실) ;
  • 김동천 (금성중앙연구소 분석실) ;
  • 김성태 (금성중앙연구소 분석실)
  • Published : 1995.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords