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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집
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Pages.082-83
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1995
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
Two-step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구
김윤태
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
박종원
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
이진호
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
백종태
(한국전자통신연구소 반도체연구단)
발행 : 1995.02.01
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