02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1995.02a
/
Pages.082-83
/
1995
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Two-step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구
김윤태
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
박종원
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
이진호
(한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
백종태
(한국전자통신연구소 반도체연구단)
Published : 1995.02.01
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