Two-step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구

  • 김윤태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 박종원 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • 발행 : 1995.02.01