Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$ 박막의 특성 연구

• 송석균 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 정형진 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 고석근 (한국과학기술연구원 세라믹스부) ;
• 백홍구 (연세대학교 금속공학과)

• Published : 1995.02.01

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