Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화

  • 이기홍 (삼성전자 주식회사 반도체 연구소 기초연구팀) ;
  • 조만호 (삼성전자 주식회사 반도체 연구소 기초연구팀) ;
  • 이덕형 (삼성전자 주식회사 반도체 연구소 기초연구팀) ;
  • 문종 (삼성전자 주식회사 반도체 연구소 기초연구팀) ;
  • 심태언 (삼성전자 주식회사 반도체 연구소 기초연구팀)
  • Published : 1995.02.01
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Abstract

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