Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1995.02a
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- Pages.27-27
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- 1995
The Effect of Ion Sppecies(Si, P, B) on Secondary Defect Formation in High Energy Impplanted Silicon
고에너지 이온주입된 씰리콘에서 이차결함 생성에 미치는 이온종류(Si, P, B)의 효과
Abstract
Keywords