02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1995.02a
/
Pages.24-24
/
1995
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
TCP(Transformer Coupled Plasma)를 이용한 RF Spputter Etch Chamber 제작 및 특성에 관한 연구
이원석
(성균관대학교) ;
이진호
(한국전자통신연구소) ;
김현수
(성균관대학교) ;
원대희
(성균관대학교) ;
염근영
(성균관대학교)
Published : 1995.02.01
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