A Study on The Coarse and Fine Positioning Apparatus

조미등 위치결정기구에 관한 연구

정밀위치결정 기구는 정밀가공기, 계측기기, 반도체 제조장치등의 각종산업기기에 있어 중요 장치로 많이 이용되고 있다. 반도체 회로의 고정밀화, 고집적화, 가공기의 고정도화와 함께 위치결정기구의 기술은 매년 엄격해지고 있다. 현재는 0.1 -0.01 .$\mu$ m의 정도가 요구되고 있어 이에 대응할 수 있는 고정밀 미동제어 위치결정 제어에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한 고정도와 함께 대스트로크(Stroke)를 가지며, 동시에 고속동작의 실현이필요하다. 따라서 이런 여러 성능을 만족시키는 것은 고부가가치 산업에 있어 매우 중요한 조건 중의 하나이다.