대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- Pages.1149-1151
- /
- 1995
레이져 CVD에 의한 $SiO_2$ 막의 형성기구 모델링에 관한 연구
A Study on the mechanism of $SiO_2$ film deposition by Laser CVD
- 발행 : 1995.07.20
초록
In order to examine the deposition mechanism for
키워드