한국전자현미경학회:학술대회논문집

1994.05a
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Pages.37-37
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1994

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)

권호 표지

$N_2,\;NH_3$ 분위기 열처리에 따른 $TiN/TiSi_2$ Bilayer의 미세구조 변화

권현자 (금성 중앙 연구소) ;
김차연 (금성 중앙 연구소) ;
정영우 (금성 중앙 연구소) ;
이정수 (금성 중앙 연구소) ;
변정수 (금성 일렉트론) ;
김성태 (금성 중앙 연구소)

Published : 1994.05.01

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Abstract

Keywords