High-Resolution Transmission Electron Microscopy Study on the Crystallization of the Amorphous Si1icon Thin Films

고분해능 투과자현미경에 의한 비정질실리콘 박막의 결정화에 관한 연구

  • 김진혁 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1994.05.01