RE diode 스퍼터에 의한 고밀도 박막 자기 유도 헤드용 FeN 다층 박막에 관한 연구

A STUDY ON RE DIODE SPUTTERED FeN MULTILAYER FILMS FOR HIGH DENSITY THIN FILM MAGNETIC INDUCTIVE HEADS

  • 발행 : 1994.10.01