한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교

The Comparison of Characteristics on Al films deposited by TIBA and DMEAA

  • 장태웅 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 천성순 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 안병태 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • 발행 : 1994.11.01
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